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 Stable low-resistance ohmic contact on GaN via an oxynitride interlayer over 20–200 °C: Mechanisms and performance 相关领域
欧姆接触
材料科学
光电子学
接触电阻
制作
肖特基势垒
宽禁带半导体
蚀刻（微加工）
电接点
二极管
肖特基二极管
可靠性（半导体）
当前拥挤
图层（电子）
功率半导体器件
电阻率和电导率
氮化镓
电流密度
复合材料
砷化镓
不稳定性
干法蚀刻
纳米技术
半导体器件
热稳定性
电子工程
热导率
热的
量子隧道
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：S. Xie; Hengyu Xu; Caiping Wan; Zongyang Hu; Z. Cheng; et al 出版日期：2026-06-12 |
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