Low-Resistivity Cobalt and Ruthenium Ultra-Thin Film Deposition Using Bipolar HiPIMS Technique

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标题	Low-Resistivity Cobalt and Ruthenium Ultra-Thin Film Deposition Using Bipolar HiPIMS Technique
网址	https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac5805
DOI	10.1149/2162-8777/ac5805 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Min Ji Seo; Min Kyung Cho; Unhyeon Kang; Sin Young Jeon; Sangho Lim; et al 出版日期：2022-02-23
求助人	俊逸三德在 2026-08-19 11:08:40 发布自法国，悬赏 10 积分
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