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Preservation of crystalline order in ultra-thin Si(001) layers by cmOS-compatible top-Down RTO/HF thinning |
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期刊:Applied Surface Science Advances 作者:Hamza EL Kari; Mathieu Koudia; Mathieu Abel; Isabelle Berbezier 出版日期:2026-09-01 |
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(2025-6-4)