Suppression of Crack Formation in Wafer-Scale Amorphous SiNx Films by Residual Hydrogen-Ligands Manipulation - 科研通

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标题	Suppression of Crack Formation in Wafer-Scale Amorphous SiNx Films by Residual Hydrogen-Ligands Manipulation
网址	https://doi.org/10.1016/j.nwnano.2024.100044
DOI	10.1016/j.nwnano.2024.100044 doi
其它	期刊：Nano Trends 作者：Yutao Dong; Xin Yin; Wenjian Liu; Fayaz A. Shaikh; Ziyi Zhang; et al 出版日期：2024-06-01
求助人	NekoNeko 在 2026-08-12 13:18:51 发布自江苏，悬赏 10 积分
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Taylor & Francis

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