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Effect of SF6 Plasma Etching on the Optical, Morphological and Structural Properties of SiC Films
SF6等离子体刻蚀对SiC薄膜光学、形貌和结构性能的影响
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期刊:Silicon 作者:Nierlly Karinni de Almeida Maribondo Galvão; Armstrong Godoy; Aledir Silveira Pereira; Guilherme Martins; Rodrigo Sávio Pessoa; et al 出版日期:2023-08-10 |
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