Effect of SF6 Plasma Etching on the Optical, Morphological and Structural Properties of SiC Films

材料科学 反应离子刻蚀 碳化硅 蚀刻(微加工) 等离子体刻蚀 结晶度 无定形固体 结晶 扫描电子显微镜 光电子学 复合材料 分析化学(期刊) 化学工程 结晶学 化学 图层(电子) 色谱法 工程类
作者
Nierlly Karinni de Almeida Maribondo Galvão,Armstrong Godoy,A. L. J. Pereira,Gislene Valdete Martins,Rodrigo Sávio Pessoa,Homero Santiago Maciel,Mariana Amorim Fraga
出处
期刊:Silicon [Springer Science+Business Media]
卷期号:15 (18): 7745-7754 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s12633-023-02618-w
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