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 The generation of higher harmonics in capacitively coupled argon plasma driven by 8 MHz, 100 MHz and 8/100 MHz 8 MHz、100 MHz和8/100 MHz驱动下电容耦合氩等离子体高次谐波的产生
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期刊：Physics Letters 作者：Qianghua Yuan; Zhaohui Liu; Guiqin Yin 出版日期：2022-10-01 |
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