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  Fumed Silica-Based Ultra-High-Purity Synthetic Quartz Powder via Sol–Gel Process for Advanced Semiconductor Process beyond Design Rule of 3 nm 用于超过3 nm设计规则的先进半导体工艺的溶胶-凝胶法气相二氧化硅基超高纯合成石英粉
相关领域
石英
气相二氧化硅
材料科学
硅酸钾
杂质
硅酸盐
熔融石英
化学工程
溶胶凝胶
硅胶
复合材料
纳米技术
化学
有机化学
工程类
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期刊：Nanomaterials 作者：Ji-Ho Choi; Woo-Guk Lee; Tae‐Hun Shim; Jea‐Gun Park 出版日期：2023-01-18 |
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