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  Fabrication of wafer-scale nanoporous AlGaN-based deep ultraviolet distributed Bragg reflectors via one-step selective wet etching 一步选择性湿法刻蚀制备晶圆级纳米多孔AlGaN基深紫外分布布拉格反射器
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期刊：Scientific Reports 作者：Yongming Zhao; Maocheng Shan; Zhi-Hua Zheng; Pengcheng Jian; Wei-jie Liu; et al 出版日期：2022-12-27 |
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