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 Operating Features of Assisted Hollow Electrode Discharge During Electron-Beam Evaporation of Aluminum in Oxygen in the Fore-Vacuum Pressure Range 真空前压力下氧气中铝电子束蒸发过程中辅助空心电极放电的工作特性
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期刊：IEEE Transactions on Plasma Science 作者：Viktor A. Burdovitsin; L.J. Ngon A. Kiki; Е. М. Oks 出版日期：2024-05-30 |
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