Introduction of the S-UHE, a single-wafer ultra-high energy ion implanter

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标题	Introduction of the S-UHE, a single-wafer ultra-high energy ion implanter
网址	https://doi.org/10.1109/IIT.2014.6940021
DOI	10.1109/IIT.2014.6940021 doi
其它	期刊：2014 20th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT) 作者：Kazuhiro Watanabe; Haruka Sasaki; Mitsuaki Kabasawa; Mitsukuni Tsukihara; Kazuyoshi Ueno 出版日期：2014
求助人	Gaoge 在 2026-02-02 15:40:18 发布自北京，悬赏 10 积分
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