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Effects of lithographic and pattern parameters on stability of feature-edge location in electron beam lithography
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DOI
10.1116/6.0004017 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者:Soo-Young Lee
出版日期:2024-11-08
求助人
Doctor 在 2026-01-05 08:53:58 发布自海南,悬赏 10 积分
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