Cross Sections of Scattering Processes in Electron-Beam Lithography

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标题	Cross Sections of Scattering Processes in Electron-Beam Lithography
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S1063739723700...
DOI	10.1134/s1063739723700300 doi
其它	期刊：Russian Microelectronics 作者：A. E. Rogozhin; F. A. Sidorov 出版日期：2023-06-20
求助人	louis 在 2026-02-05 21:23:57 发布自福建，悬赏 30 积分
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