| 标题 |
  Atomic layer processing for Ångström-scale precision in 3D-integrated semiconductor manufacturing 相关领域
可扩展性
缩放比例
半导体
桥接（联网）
纳米技术
半导体器件制造
过程（计算）
过程控制
原子层沉积
图层（电子）
材料科学
半导体工业
计算机科学
半导体器件
电子工程
钥匙（锁）
原子单位
工程物理
控制（管理）
原子力显微镜
光电子学
稳健性（进化）
工程类
纳米电子学
还原（数学）
简单（哲学）
材料加工
控制系统
半导体材料
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| 其它 |
期刊：International Journal of Extreme Manufacturing 作者：Hae LIn Yang; Min Kyoung KIM; Gi-Beom Park; Ji-Yeon Park; Hyein Park; et al 出版日期：2026-03-17 |
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