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 Optimization of ion energy distribution and ion angular distribution by tuning chamber radius in inductively coupled plasma etching 相关领域
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离子
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Jian-Hai Han; De‐Qi Wen; Han-Cheng Xu; Shao-Feng Xu; Ying Guo; et al 出版日期：2026-04-16 |
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