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Highly preferred orientation of Ga2O3 films sputtered on SiC substrates for deep UV photodetector application 相关领域
材料科学
溅射
光电子学
光电探测器
响应度
薄膜
退火(玻璃)
量子效率
紫外线
半导体
带隙
溅射沉积
半最大全宽
纳米技术
复合材料
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期刊:Applied Surface Science 作者:Meng‐Qiu Li; Ni Yang; Gui‐Gen Wang; Huayu Zhang; Jiecai Han 出版日期:2018-12-06 |
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