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标题
Effective surface passivation on n-type crystalline silicon of AlOx thin films by thermal atomic layer deposition
热原子层沉积AlOx薄膜n型晶体硅的有效表面钝化
相关领域
材料科学 钝化 图层（电子） 原子层沉积 硅 薄膜 沉积（地质） 热的 晶体硅 化学工程 纳米技术 冶金 古生物学 物理 沉积物 气象学 工程类 生物
网址
https://doi.org/10.1007/s10854-025-14972-z
DOI
10.1007/s10854-025-14972-z doi
其它 期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics
作者：Shiyu Qu; Xiaojie Jia; Lilan Wen; Xiaotong Li; Su Ju; et al
出版日期：2025-06-01
求助人
stan 在 2025-10-24 16:15:33 发布自陕西，悬赏 10 积分
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