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Effective surface passivation on n-type crystalline silicon of AlOx thin films by thermal atomic layer deposition

材料科学 钝化 图层（电子） 原子层沉积 硅 薄膜 沉积（地质） 热的 晶体硅 化学工程 纳米技术 冶金 古生物学 气象学 工程类 物理 生物 沉积物
作者
Shiyu Qu,Xiaojie Jia,Lilan Wen,Xiaotong Li,Su Ju,Xianyang Zhang,Hongwei Diao,Chunlan Zhou,Lei Zhao,Wenjing Wang
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
日期：2025-06-01 卷期号：36 (16)
标识
DOI：10.1007/s10854-025-14972-z
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