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 Spontaneous etching of B2O3 by HF gas studied using infrared spectroscopy, mass spectrometry, and density functional theory 用红外光谱、质谱和密度泛函理论研究HF气体对B2O3的自发刻蚀
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Austin M. Cano; Suresh Kondati Natarajan; Jonathan L. Partridge; Simon D. Elliott; Steven M. George 出版日期：2022-01-11 |
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