Dark-field optical fault inspection of ∼10 nm scale room-temperature silicon single-electron transistors

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标题	Dark-field optical fault inspection of ∼10 nm scale room-temperature silicon single-electron transistors 10nm尺度室温硅单电子晶体管的暗场光学故障检测相关领域材料科学暗场显微术光学光电子学衍射硅波长显微镜物理
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6528/acfb10 AI链接 iop.org nih.govdoi.org
DOI	10.1088/1361-6528/acfb10 doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：Wenkun He; K. Chu; Faris Abualnaja; Mervyn Jones; Z. A. K. Durrani 出版日期：2023-09-19
求助人	sheyiness 在 2025-08-30 15:36:53 发布，悬赏 10 积分
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