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High-angle annular dark-field microscopy of Mo/Si multilayer structures
作者
J. Liu,
Y. Cheng,
J. M. Cowley,
Mary Beth Stearns
出处
期刊：
Ultramicroscopy
[Elsevier BV]
日期：1992-03-01
卷期号：40 (3): 352-364
被引量：5
标识
DOI：10.1016/0304-3991(92)90132-4
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