| 标题 |
Improvement of nano-imprint lithography performance for device fabrication |
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10.1117/12.2297294
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期刊: 作者:Takuya Kono; Masayuki Hatano; Masato Suzuki; Kazuya Fukuhara; Kei Kobayashi; et al 出版日期:2018-03-19 |
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