Volume manufacturing of thin-film lithium niobate modulators with bandwidth > 110 GHz based on 4-inch wafer with a quartz handle

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标题	Volume manufacturing of thin-film lithium niobate modulators with bandwidth > 110 GHz based on 4-inch wafer with a quartz handle 相关领域薄脆饼材料科学石英铌酸锂光电子学体积热力学薄膜带宽（计算）复合材料纳米技术计算机科学电信物理量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.37188/lam.2025.047
DOI	10.37188/lam.2025.047 doi
其它	期刊：Light: Advanced Manufacturing 作者：Yang Liu; Zihan Zhou; Peiqi Zhou; Changqing Wang; Qiansheng Wang; et al 出版日期：2025-01-01
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