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 Effect of heat treatment on structure and properties of molybdenum nitride and molybdenum carbonitride films prepared by magnetron sputtering 热处理对磁控溅射氮化钼和碳氮化钼薄膜结构和性能的影响
相关领域
钼
材料科学
无定形固体
微观结构
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氮化物
溅射
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冶金
结晶
兴奋剂
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薄膜
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化学工程
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结晶学
图层（电子）
化学
工程类
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Jianguo Qian; Shuxin Li; Jibin Pu; Zhaobing Cai; Haixin Wang; et al 出版日期：2019-06-21 |
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