Automating Root Cause Analysis in Semiconductor Manufacturing Using Transformer Models With Explainable AI

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标题	Automating Root Cause Analysis in Semiconductor Manufacturing Using Transformer Models With Explainable AI
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/66/11520965/11475865.pdf...
DOI	10.1109/tsm.2026.3681810 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Youssef Alothman; Mohamed Bader-El-Den; Lalit Maurya; Eslam Amer 出版日期：2026-04-08
求助人	dinghongzhen 在 2026-05-19 16:14:04 发布自上海，悬赏 10 积分
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