Molecular-level insight into amino acid additive effects on ceria-film interactions and STI-CMP selectivity

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标题	Molecular-level insight into amino acid additive effects on ceria-film interactions and STI-CMP selectivity
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.167371
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.167371 doi
求助人	TANG 在 2026-05-29 21:52:25 发布自吉林，悬赏 10 积分
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