Development of PMUT-Based High Sensitivity Gas Flow Sensor

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标题	Development of PMUT-Based High Sensitivity Gas Flow Sensor
网址	https://doi.org/10.1109/JMEMS.2023.3334497
DOI	10.1109/JMEMS.2023.3334497 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Tapio Pernu; Teuvo Sillanpää; Cyril Baby Karuthedath; Abhilash Thanniyil Sebastian 出版日期：2024
求助人	zyzyzy 在 2026-04-30 21:57:19 发布自浙江，悬赏 10 积分
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