Monolithically Integrated CMOS-MEMS Microcantilever Gas Sensor with Sub-10 Milliwatt Power Consumption

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标题	Monolithically Integrated CMOS-MEMS Microcantilever Gas Sensor with Sub-10 Milliwatt Power Consumption
网址	https://doi.org/10.1109/Transducers61432.2025.11110698
DOI	10.1109/Transducers61432.2025.11110698 doi
其它	期刊：2025 23rd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers) 作者：Xuanqing Hua; Fengyang Li; Peng Liu; Shiyang Yuan; Xufeng Wang; et al 出版日期：2025
求助人	重要衬衫在 2026-03-06 18:37:44 发布自北京，悬赏 10 积分
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