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 High-quality AlN epitaxial films with atomically smooth surface on Si substrates via inducing ultrathin crystal nucleation seed layer by combined pretreatment 相关领域
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期刊：Applied Materials Today 作者：Youheng Song; Yujie Wang; Yurui Han; Yuefei Wang; Bingsheng Li; et al 出版日期：2026-10-01 |
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