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标题
Macro-conformality of coatings deposited using high-speed spatial plasma-enhanced atomic layer deposition
网址
http://dx.doi.org/10.1364/ao.59.000a16
DOI
10.1364/ao.59.000a16 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Eric Dickey; Kalle Niiranen; Bryan Danforth; William A. Barrow
出版日期：2019-11-25
求助人
淡然冬灵 在 2026-09-13 12:35:04 发布自河南，悬赏 10 积分
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