Precise angle control for channeling using SS-UHE, a single-wafer ultrahigh-energy ion implanter - 科研通

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标题	Precise angle control for channeling using SS-UHE, a single-wafer ultrahigh-energy ion implanter
网址	https://doi.org/10.1557/s43580-022-00490-1
DOI	10.1557/s43580-022-00490-1 doi
其它	期刊：MRS Advances 作者：Hiroyuki Kariya; Sho Kawatsu; Haruka Sasaki; Yasuhiko Kimura; Noriyasu Ido; et al 出版日期：2023-01-09
求助人	CUI 在 2026-07-15 17:14:41 发布自北京，悬赏 10 积分
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