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High quality low thermal budget low cost SiO2 film fabricated by O2 plasma immersion ion implantation
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网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139385
DOI
10.1016/j.tsf.2022.139385 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Shu Qin
出版日期：2022-07-14
求助人
腊梅 在 2026-01-07 10:48:17 发布自广东，悬赏 10 积分
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