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 Preparation and optoelectronic properties of a‐IGZO thin films deposited by RF magnetron sputtering at different working pressures 不同工作压力下射频磁控溅射沉积a-IGZO薄膜的制备及光电性能
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期刊：Rare Metals 作者：Ruixin Ma; Yuqin Xiao; Shina Li; Yuanyuan Wang; Dong-ran Li; et al 出版日期：2014-06-17 |
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