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Preparation and optoelectronic properties of a-IGZO thin films deposited by RF magnetron sputtering at different working pressures

材料科学 退火（玻璃） 透射率 溅射沉积 光电子学 溅射 电阻率和电导率 半导体 薄膜 吸收边 电子迁移率 复合材料 纳米技术 带隙 电气工程 工程类
作者
Ruixin Ma,Yuqin Xiao,Shina Li,Yuanyuan Wang,Dong-ran Li,Liang-wei He
出处
期刊：Rare Metals [Springer Nature]
日期：2014-06-17 卷期号：37 (7): 599-603 被引量：2
标识
DOI：10.1007/s12598-014-0314-3
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