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 Surface-Anchored Metal–Organic Frameworks as Versatile Resists for Gas-Assisted E-Beam Lithography: Fabrication of Sub-10 Nanometer Structures 表面锚定金属有机骨架作为气体辅助电子束光刻的通用抗蚀剂：亚10纳米结构的制备
相关领域
抵抗
电子束光刻
俄歇电子能谱
材料科学
制作
纳米技术
纳米光刻
电子束诱导沉积
化学工程
扫描透射电子显微镜
图层（电子）
透射电子显微镜
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医学
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期刊：ACS Nano 作者：Martin Drost; Fan Tu; Luisa Berger; Christian Preischl; Wencai Zhou; et al 出版日期：2018 |
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