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标题
A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers
MEMS硅谐振加速度计研究进展
相关领域
加速度计 谐振器 微电子机械系统 加速度 灵敏度（控制系统） 硅 电子工程 计算机科学 工程类 电气工程 材料科学 光电子学 物理 操作系统 经典力学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2024.3354235
DOI
10.1109/jmems.2024.3354235 doi
其它 期刊：Journal of microelectromechanical systems
作者：Zhao Zhang; Hemin Zhang; Yongcun Hao; Honglong Chang
出版日期：2024-01-26
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Arrebol 在 2025-11-23 13:00:33 发布自北京，悬赏 10 积分
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