Slanted gratings with varying slant angle by localized reactive ion beam processing

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标题	Slanted gratings with varying slant angle by localized reactive ion beam processing 相关领域材料科学光学离子束沟槽栅栏蚀刻（微加工）反应离子刻蚀衍射光栅光电子学聚焦离子束基质（水族馆）梁（结构）离子图层（电子）纳米技术化学有机化学海洋学物理地质学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2600516
DOI	10.1117/12.2600516 doi
其它	期刊：作者：David Stark; Carsten Schulze; M. Demmler; Matthias Nestler; Michael Zeuner 出版日期：2021-06-16
求助人	卜恸卜恸在 2026-01-05 14:13:38 发布自浙江，悬赏 20 积分
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