Structural investigation of nanovoids around the interface of micro-vias by spherical aberration corrected scanning transmission electron microscopy

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标题	Structural investigation of nanovoids around the interface of micro-vias by spherical aberration corrected scanning transmission electron microscopy 球差校正扫描透射电子显微镜对微孔界面周围纳米空隙的结构研究相关领域透射电子显微镜材料科学扫描电子显微镜扫描透射电子显微镜球差图层（电子）化学镀电镀（地质）电子显微镜电子光电子学复合材料光学纳米技术物理地球物理学量子力学电镀镜头（地质）
网址	https://doi.org/10.1016/j.microrel.2023.115231
DOI	10.1016/j.microrel.2023.115231 doi
其它	期刊：Microelectronics Reliability 作者：Meng-Ling Hsieh; Masahiko Nishijima; K. Jogo; Zhiqi Zhang; Rieko Okumuara; et al 出版日期：2023-10-01
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