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标题
Experimental characterization of model resist materials
模型抗蚀剂材料的实验表征
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抵抗 极紫外光刻 次级电子 电子 极端紫外线 吸收(声学) 电子束光刻 光刻胶 材料科学 光子 X射线光电子能谱 光学 原子物理学 物理 光电子学 纳米技术 激光器 核物理学 图层(电子) 核磁共振
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DOI
10.1117/12.2600890 doi
求助人
喜悦的听云 在 2025-07-08 13:37:22 发布自美国,悬赏 20 积分
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