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 Accurate Evaluation of High-k HZO/ZrO2 Films by Morphotropic Phase Boundary 高k HZO/ZrO2薄膜的形态向相边界准确评价
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Seungyeol Oh; Hojung Jang; Hyunsang Hwang 出版日期：2023-11-08 |
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