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Accurate Evaluation of High-k HZO/ZrO2 Films by Morphotropic Phase Boundary
高k HZO/ZrO2薄膜的形态向相边界准确评价
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网址
DOI
10.1109/led.2023.3331001 doi
其它 期刊:IEEE Electron Device Letters
作者:Seungyeol Oh; Hojung Jang; Hyunsang Hwang
出版日期:2023-11-08
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嗷嗷嗷 在 2025-05-22 09:58:16 发布自北京,悬赏 10 积分
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