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Comparative studies of cold/hot probe techniques for accurate plasma measurements 用于精确等离子体测量的冷/热探针技术的比较研究
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Jianquan Li; Qinghe Zhang; Zan‐Yang Xing; Wenqi Lu 出版日期:2022-03-09 |
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