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 Effects of low-frequency voltage on nonlinear standing wave excitation, plasma uniformity, and ion dynamics in dual-frequency asymmetric capacitive discharges 低频电压对双频不对称电容放电非线性驻波激发、等离子体均匀性和离子动力学的影响
相关领域
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Fang-Jie Zhou; De‐Qi Wen; Jian-Kai Liu; Zi-Xuan Su; Kai Zhao; et al 出版日期：2024-04-01 |
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