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标题
X-Ray and EUV optics: driving the state of the art in optical metrology
X射线和EUV光学：推动光学计量技术的发展
相关领域
极紫外光刻 计量学 光学 X射线光学 物理 X射线
网址
https://doi.org/10.1117/12.2683997
DOI
10.1117/12.2683997 doi
其它 期刊：
作者：Peter J. de Groot; Vivek Badami
出版日期：2023-10-04
求助人
lpcxly 在 2025-05-06 22:26:57 发布自北京，悬赏 20 积分
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