Study on the mechanism of ultrasonic-assisted water confined laser micromachining of silicon

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标题	Study on the mechanism of ultrasonic-assisted water confined laser micromachining of silicon 相关领域材料科学表面微加工超声波传感器激光器机械加工粒子图像测速激光功率缩放声流激光烧蚀水流烧蚀光学硅光电子学声学制作机械冶金湍流航空航天工程替代医学病理工程类物理环境工程医学
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2020.106118
DOI	10.1016/j.optlaseng.2020.106118 doi
其它	期刊：Optics and Lasers in Engineering 作者：Jia Zhou; Rongwei Xu; Hui Jiao; Jiading Bao; Qingyuan Liu; et al 出版日期：2020-04-27
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