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Synthetic model of nonlinear errors in grating displacement measurement system
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DOI
10.1117/1.oe.61.6.064108 doi
其它 期刊:Optical Engineering
作者:Xianming Xiong; Peng Wang; Hao Du; Sen Kang; Wentao Zhang
出版日期:2022-06-17
求助人
云曳 在 2026-05-21 13:47:04 发布自陕西,悬赏 20 积分
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