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  Evaporation Effect on Thickness Distribution for Spin-Coated Films on Rectangular and Circular Substrates 蒸发对矩形和圆形基底上旋涂膜厚度分布的影响
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期刊：Coatings 作者：Ying Yan; Jiarun Li; Qiuyu Liu; Ping Zhou 出版日期：2021-10-29 |
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