Fabrication of Ultra-Low-Loss, Dispersion-Engineered Silicon Nitride Photonic Integrated Circuits via Silicon Hardmask Etching

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标题	Fabrication of Ultra-Low-Loss, Dispersion-Engineered Silicon Nitride Photonic Integrated Circuits via Silicon Hardmask Etching
网址	https://doi.org/10.1021/acsphotonics.4c02172
DOI	10.1021/acsphotonics.4c02172 doi
其它	期刊：ACS Photonics 作者：Shuai Liu; Yuheng Zhang; Abdulkarim Hariri; Abdur-Raheem Al-Hallak; Zheshen Zhang 出版日期：2025-02-02
求助人	sefsfw 在 2026-09-05 23:01:06 发布自北京，悬赏 10 积分
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