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Quasiatomic layer etching of silicon nitride enhanced by low temperature
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0002846
DOI
10.1116/6.0002846 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Daniel N. Shanks; R. Ahmed; John Femi‐Oyetoro; Matthew Dickie; Andrew D. Beyer; et al
出版日期：2023-08-29
求助人
QiaoFish 在 2025-10-04 15:42:44 发布自湖南，悬赏 10 积分
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