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The effect of passivation to etching duration ratio on bipolar electrochemical etching of porous layer stacks in germanium 钝化与蚀刻持续时间比对锗中多孔层堆叠双极电化学蚀刻的影响
相关领域
钝化
材料科学
蚀刻(微加工)
图层(电子)
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锗
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化学工程
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复合材料
硅
工程类
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期刊:Journal of Physics and Chemistry of Solids 作者:Waldemar Schreiber; Tingzhu Liu; S. Janz 出版日期:2023-02-03 |
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