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标题
Aerosol jet printed PZT actuated MEMS resonating cantilever scanner
相关领域
微电子机械系统 悬臂梁 扫描仪 材料科学 3d打印 喷射（流体） 气溶胶 声学 光电子学 航空航天工程 电气工程 复合材料 工程类 物理 生物医学工程 气象学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2545564
DOI
10.1117/12.2545564 doi
其它 期刊：
作者：M.-C.M. Lee; Chuang-Cheng Peng; Y. Y. Hsu; Peng-Jyun Chen; Chileung Tsui; et al
出版日期：2020-02-25
求助人
毛聋聋 在 2025-11-02 17:21:03 发布自海南，悬赏 20 积分
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